描述
三氟化氯(ClF3)是一種腐蝕性，無色有甜味的氣體，即使在低濃度時(shí)也有高度刺激性。它是強(qiáng)氧化性，在高溫時(shí)能夠點(diǎn)燃許多有機(jī)化合物和許多金屬。遇水產(chǎn)生猛烈反應(yīng)，在其自身壓力下，被作為液化性氣體運(yùn)輸。
規(guī)格
純度，%	99.9
氧氣	≤20 ppmv
氮?dú)?/td>	≤50 ppmv
硫化氫	≤700 ppmv
運(yùn)輸
DOT 運(yùn)輸名稱	三氟化氯
DOT 分類	2.3
DOT 標(biāo)簽	毒氣，氧化劑及腐蝕性
UN NO.	UN 1045
CAS NO.	7664-41-7
CGA/DISS	670/728
運(yùn)輸狀態(tài)	液化性氣體
技術(shù)信息
鋼瓶狀況 @ 21.1°C	液體
在空氣中的燃燒極限	不可燃
自燃溫度 ( °C )	-
分子量 ( g/mol )	66.007
比重 ( 空氣 =1 )	3.14
臨界溫度 ( °C )	23.85
臨界壓力 ( psig )	823.2
應(yīng)用
-在半導(dǎo)體工業(yè)中，三氟化氯用于清洗化學(xué)氣相沉積腔室。它的優(yōu)勢是可以用于從室壁去除半導(dǎo)體材料，而不必拆卸腔室。不像大部分替代品，它不需要使用等離子體的激活，腔室的熱量足以使其分解并與半導(dǎo)體材料反應(yīng)；

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